国产午夜亚洲精品理论片八戒_全部免费的毛片在线看_国产午夜福在线直播一级片_亚洲第一页中文字幕_久久综合偷拍三级91碰视频_国产又大又粗在线观看_日韩国产亚洲欧美不卡观看_欧美巨大另类极品videosbest_黄色网站一级在线播放_午夜免费福利不卡网址92

處理產(chǎn)品：微流控芯片

行業(yè)：半導(dǎo)體行業(yè)

材料：玻璃/PDMS

工藝：活化/清洗

下一步工藝：鍵合

玻璃/PDMS的等離子鍵合

    當(dāng)前集成電路的發(fā)展趨勢(shì)是小型化、大功率化和多功能化，用戶對(duì)產(chǎn)品的可靠性要求也越來(lái)越高，這就對(duì)微電子制造技術(shù)和工藝提出了許多新的課題。微流控PDMS芯片通常采用等離子體處理的方法，不同的處理參數(shù)會(huì)影響到PDMS芯片的鍵合強(qiáng)度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強(qiáng)度可以達(dá)到3-5 bars的耐壓值。

   生產(chǎn)過(guò)程中鍵合區(qū)不可避免地會(huì)受到污染，如不加以處理而直接鍵合，將造成虛焊、脫焊、鍵合強(qiáng)度偏低等缺陷，從而使產(chǎn)品的長(zhǎng)期可靠性沒(méi)有保證。為了永久性的把PDMS芯片結(jié)合到玻璃片上，研究人員使用等離子清洗機(jī)來(lái)改變玻璃和PDMS的表面性質(zhì)。等離子體處理將會(huì)改變玻璃和PDMS芯片表面的化學(xué)物質(zhì)并允許您把帶有微通道的PDMS粘接到其他基底上（PDMS或玻璃）。

    等離子體處理時(shí)間是表面處理和鍵合成功的一個(gè)關(guān)鍵因素。太短等離子體處理時(shí)間不會(huì)使整個(gè)表面發(fā)生功能化而太長(zhǎng)等離子體處理時(shí)間會(huì)強(qiáng)烈的改變PDMS表面的性能。等離子體被激活的時(shí)間越長(zhǎng)，您的PDMS表面越粗糙而且還會(huì)影響到粘接性能。等離子體通常用于軟刻蝕技術(shù)，最強(qiáng)牢固粘接的最佳時(shí)間通常是在20到60秒之間。

鍵合前等離子清洗的作用：

  (1)鍵合強(qiáng)度普遍增長(zhǎng)；

  (2)極差縮?。?/p>

  (3)鍵合強(qiáng)度的離散性縮??；

  (4)改善了失效模式。

  等離子清洗機(jī)優(yōu)勢(shì)有：產(chǎn)生的是氣態(tài)物質(zhì)，而不是液體廢料，可直接排至空氣中。從而無(wú)需昂貴的廢物處理系統(tǒng)。等離子清洗是通過(guò)選擇和調(diào)整工藝參數(shù)如功率、壓力、時(shí)間、氣體種類等進(jìn)行工藝控制的，操作方便、簡(jiǎn)單。

本案例由金鉑利萊整理發(fā)表，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處：http://jouta.cn/casedetail-73253.html