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氧氣等離子體清洗機(jī)spv50工藝氣體的原理
發(fā)布者:氧等離子清洗機(jī)   發(fā)布時間:2021/3/2 15:11:09   瀏覽次數(shù):1915

    氧氣等離子清洗機(jī)是采用電離空氣的方式來獲取等離子體,利用等離子體內(nèi)的各種具有高能量的物質(zhì)的活化作用,將附著在物體表面的污垢徹底剝離去除。

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    氧氣是等離子清洗常用的活性氣體,利用氧氣等離子對處理物表面進(jìn)行處理,這種方式屬于物理+化學(xué)的處理方式,電離后產(chǎn)生的離子體能夠?qū)Ρ砻孢M(jìn)行物理轟擊,形成粗糙表面。同時高活性的氧離子能夠與被斷鍵后的分子鏈發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成活性基團(tuán)的親水表面,達(dá)到表面活化的目的;氧氣等離子體能除去材料表面污染物的作用,類似于使表面污染物,如油脂污垢發(fā)生燃燒反應(yīng);但不同之處是其在低溫情況下發(fā)生的“燃燒”。其基本原理:在氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發(fā)態(tài)的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下,被斷鍵后的有機(jī)污染物的元素會與高活性的氧離子發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成CO、CO2、H2O等分子結(jié)構(gòu)脫離表面,達(dá)到表面清洗、活化、蝕刻目的。

氧氣等離子清洗原理,真空清洗-金鉑利萊

    等離子清洗機(jī)氧氣主要應(yīng)用于高分子材料表面活化及有機(jī)污染物去除,但不適用于易氧化的金屬表面。通過氧氣等離子體與固體表面的相互作用,消除固體表面的有機(jī)污染物,固體如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時可以用等離子處理系統(tǒng)對樣品表面進(jìn)行處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。

氧氣等離子清洗機(jī)-金鉑利萊.jpg

    真空等離子狀態(tài)下的氧等離子呈現(xiàn)淡藍(lán)色,部分放電條件下類似白色,放電環(huán)境光線比較亮,肉眼觀察時可能會出現(xiàn)看不到真空腔體內(nèi)有放電的情況。


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