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等離子清洗在光電行業(yè)作為重要的材料表面改性方法,已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用,與傳統(tǒng)超聲波清洗、UV清洗方法相比,等離子清洗具有以下優(yōu)點(diǎn),處理溫度低,處理過程無污染.
光電行業(yè)等離子清洗機(jī)在使用過程中，腔體內(nèi)出現(xiàn)的一些殘留物和氧化層，在前期發(fā)展階段，該薄層并不影響設(shè)備的運(yùn)行或成品。但是經(jīng)過持續(xù)的運(yùn)轉(zhuǎn)后，發(fā)現(xiàn)了清洗效果不穩(wěn)定，能察覺到微小改變，所以在使用一段時間之后是需要將托板架與電極進(jìn)行清洗翻新，同時設(shè)備出現(xiàn)的故障也直接體現(xiàn)設(shè)備的保養(yǎng)的程度。
| 周期 | 維護(hù)保養(yǎng)內(nèi)容 | 方法 |
| 每日 | 腔體門及門密封圈清潔 | 無塵紙、酒精 |
| 電極板清潔 | 無塵紙、酒精 | |
| 真空視窗玻璃清潔 | 無塵紙、酒精 | |
| 檢查氣體管道有無漏氣 | 酒精、目視 | |
| 每周 | 真空管道連接緊固 | 扳手 |
| 電源控線連接檢查及緊固 | 螺絲刀 | |
| 氣體管道檢查及連接頭緊固 | 扳手 | |
| 每月 | 射頻輸出功率檢查 | 功率檢測儀 |
| 真空度檢查 | 真空檢查儀 | |
| 氣體流量檢測 | 氣體流量計(jì)、萬用表 | |
| 半年 | 門密封圈更換 | / |
| 管道密封圈更換 | / | |
| 每年 | 真空泵冷卻液更換 | / |
| 真空泵保養(yǎng) | 建議由廠家進(jìn)行專業(yè)保養(yǎng) |
光電行業(yè)等離子清洗機(jī)的保養(yǎng)應(yīng)從以上這些方面進(jìn)行，根據(jù)保養(yǎng)項(xiàng)目劃分周期分為每日、每周、每月、半年、每年，在實(shí)際生產(chǎn)過程中，影響等離子清洗效果的不僅僅是工藝技術(shù)，還有設(shè)備的穩(wěn)定性，比如工藝氣體的微小泄露、電極托板架的烴基殘留物、腔體內(nèi)其他管道的氧化程度以及設(shè)備本身不同程度的故障這些都是在生產(chǎn)制造過程中直接對生產(chǎn)產(chǎn)生影響。
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