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  射頻等離子清洗機的作用原理：

  在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等體子體轟被清洗產(chǎn)品面．以達到清洗目的．主要是通過等離子體作用于產(chǎn)品表面使其產(chǎn)生一系列的物理、化學變化,利用其中所包含的活性粒子和高能射線,與表面有機污染物分子發(fā)生反應、碰撞形成小分子揮發(fā)性物質,從表面移除,實現(xiàn)清潔效果。

  PLASMA射頻等離子清洗機基本系統(tǒng)的選擇主要包括頻率選擇、空腔材質選擇、真空泵選擇機氣路選擇。

  plasma頻率選擇：

  現(xiàn)在通常使用的頻率又40KHz和13.56MHz,20MHz。這三種積分頻率的機制式不同的處理工藝，40KHz發(fā)生的反應主要為物理作用，而13.56MHz既有物理反應也有化學反應，20MHz主要發(fā)生化學反應。因此需要考慮工藝再進行選擇。

  plasma空腔材質選擇：

  現(xiàn)在通常使用的材料又：石英腔體、不銹鋼腔體、鋁合金腔體。

  石英腔體：溫度較低，不容易發(fā)生反應

  鋁材腔體：具有良好的加工性能；抗腐蝕性能強；材料對化學放映的兼容性較好，不易產(chǎn)生金屬污染機其他污染等

  plasma真空泵的選擇：

  油式真空泵是通過油來密封，潤滑，降溫的真空泵的統(tǒng)稱。在真空等離子清洗機上最常用的一種油式真空泵就是旋片式真空泵。

  干式真空泵是無油干式機械真空泵的簡稱。干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流體充當工作介質的一種真空泵。這樣使得干式真空泵在潔凈度方面更好，防止了油污染，所以干式真空泵大多用在對潔凈度要求比較高的真空等離子清洗機上，比如說半導體領域、生物醫(yī)療領域以及航天航空領域等。在真空等離子清洗機上最常用的一種干式真空泵就是干式螺桿真空泵。

  每種真空泵的選擇都可以根據(jù)客戶實際需要而定。

  plasma氣路選擇：

  一般射頻等離子清洗機都是兩路氣路，但這也不是能滿足所有的處理要求，如果需要更多的反應氣體，則可以增加，根據(jù)客戶實際需要選擇多路氣路。

  最后確定射頻等離子清洗機的型號機腔體尺寸還需要根據(jù)反應產(chǎn)品的尺寸和需要達到的生產(chǎn)能力計算，定制完成一臺非常適合客戶處理的設備。

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