全國服務(wù)熱線
400-8658-966
應(yīng)用領(lǐng)域
Application field
聯(lián)系我們
contact us
全國服務(wù)熱線:400-8658-966
聯(lián)系人:18938561701(微信同號)
總部:深圳市寶安區(qū)沙井街道和一西部創(chuàng)業(yè)工業(yè)園區(qū)D棟4樓
生產(chǎn)基地:廣東省東莞市茶山鎮(zhèn)茶山金山路東茂智造園2棟303
真空等離子清洗機主要適用在半導(dǎo)體封裝行業(yè),包括集成電路、分立器件、傳感器和光電子的封裝,還有印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、玻璃、陶瓷、高分子聚合物領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),手機制造行業(yè)、航天航空工業(yè)等等。
相信大家都已經(jīng)知道它的工作原理是:在真空腔體里,接入各種特定的工藝氣體,通過射頻電源在一定的壓力情況下產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,再通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,以達(dá)到清洗目的。
下面是金鉑利萊真空等離子清洗機的技術(shù)參數(shù)參考:
系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配件 | |
設(shè)備尺寸 | 1105W*14880D*1842Hmm(2158mm帶信號燈高度) |
水平極板 | 8層 |
電極板 | 403W*450Dmm |
氣體流量控制器,2路工藝氣體 | 0-300ml/min |
真空測量 | 日本ulvav真空計 |
人機界面觸摸屏 | 自主研發(fā) |
電極向距 | 48mm |
信號指示燈 | 3色帶警報 |
真空泵 | 90m3/h雙極油泵 |
系統(tǒng)電力&機械 | |
電源:AC380V,50/60Hz | 額定功率5000W |
系統(tǒng)重量(設(shè)備主機/真空泵) | <600kg |
占地面積:設(shè)備主機 | 1805(W)x1988(D)x1842(H)mm |
射頻電源 | |
射頻電源頻率 | 13.56MHZ |
射頻電源功率 | 1000W |
射頻電源匹配器 | 全自動匹配,領(lǐng)先的空氣電容技術(shù) |
設(shè)備必備條件 | |
電源:AC380V,50/60Hz,三相無線 | 7.5KVA |
壓縮空氣要求 | 無水無油CDA60~90psig |
抽風(fēng)系統(tǒng) | ≥2立方/分鐘,中央尾氣處理管道即可 |
系統(tǒng)環(huán)境要求 | <30°(室溫最佳) |
工藝氣體要求 | 15~20paog 99.996%或以上純真 |
本文出自金鉑利萊,轉(zhuǎn)載請注明:jouta.cn