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真空等離子清洗機適用范圍
發(fā)布者:金鉑利萊   發(fā)布時間:2021/7/15 14:39:08   瀏覽次數(shù):1826

  真空等離子清洗機主要適用在半導(dǎo)體封裝行業(yè),包括集成電路、分立器件、傳感器和光電子的封裝,還有印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、玻璃、陶瓷、高分子聚合物領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),手機制造行業(yè)、航天航空工業(yè)等等。

真空等離子處理演示-金鉑利萊

  相信大家都已經(jīng)知道它的工作原理是:在真空腔體里,接入各種特定的工藝氣體,通過射頻電源在一定的壓力情況下產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,再通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,以達(dá)到清洗目的。

等離子處理橡膠-金鉑利萊



 下面是金鉑利萊真空等離子清洗機的技術(shù)參數(shù)參考:

系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配件

設(shè)備尺寸

1105W*14880D*1842Hmm(2158mm帶信號燈高度)

水平極板

8層

電極板

403W*450Dmm

氣體流量控制器,2路工藝氣體

0-300ml/min

真空測量

日本ulvav真空計

人機界面觸摸屏

自主研發(fā)

電極向距

48mm

信號指示燈

3色帶警報

真空泵

90m3/h雙極油泵

系統(tǒng)電力&機械

電源:AC380V,50/60Hz

額定功率5000W

系統(tǒng)重量(設(shè)備主機/真空泵)

<600kg

占地面積:設(shè)備主機

1805(W)x1988(D)x1842(H)mm

射頻電源

射頻電源頻率

13.56MHZ

射頻電源功率

1000W

射頻電源匹配器

全自動匹配,領(lǐng)先的空氣電容技術(shù)

設(shè)備必備條件

電源:AC380V,50/60Hz,三相無線

7.5KVA

壓縮空氣要求

無水無油CDA60~90psig

抽風(fēng)系統(tǒng)

≥2立方/分鐘,中央尾氣處理管道即可

系統(tǒng)環(huán)境要求

<30°(室溫最佳)

工藝氣體要求

15~20paog 99.996%或以上純真

 

本文出自金鉑利萊,轉(zhuǎn)載請注明:jouta.cn

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