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總部:深圳市寶安區(qū)沙井街道和一西部創(chuàng)業(yè)工業(yè)園區(qū)D棟4樓
生產(chǎn)基地:廣東省東莞市茶山鎮(zhèn)茶山金山路東茂智造園2棟303
>> 1-1 設(shè)備概要
真空等離子體清洗機(Vacuum Plasma cleaner),腔體容積為60L。半導(dǎo)體等離子清洗機是一款以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性極高的氣體等離子體,氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)的改變,從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗,在極短時間內(nèi)有機污染物就被外接真空泵徹底抽走,其清洗能力可以達到分子級,在一定條件下不僅能使樣品表面特性發(fā)生改變還能因為采用氣體作為清洗處理的介質(zhì),有效避免樣品的再次污染。
>> 2-1 真空等離子處理機組成簡介
等離子清洗機由反應(yīng)腔(又稱真空腔) 、 真空系統(tǒng)、 放電系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、 進氣流量控制系統(tǒng)組成。本設(shè)備采用觸摸屏+PLC 可編程控制器, 處理參數(shù)可以在觸摸屏上任意設(shè)定, 具有手動/自動切換功能。 自動操作采用“一鍵式” , 工作過程完全由計算機自動控制完成。 手動操作由用戶在手動模式界面上自行完成.
>>3-1 功能應(yīng)用及參數(shù)設(shè)置
1、晶片等離子清洗
2、半導(dǎo)體等離子蝕刻
3、LED 的封裝
4、ITO膜的蝕刻等
5、半導(dǎo)體封裝引線框架清洗活化
6、Silicon Wafer 晶圓表面去除光刻膠與活化
......(等等)
系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配件 | |
設(shè)備尺寸 | 1105W*1488D*1842Hmm(2158mm帶信號燈高度) |
水平極板 | 8層 |
電極板 | 402W*450Dmm |
氣體流量控制器,2路工藝氣體 | 0-300 ml/min |
真空測量 | 日本ulvac真空計 |
人機界面觸摸屏 | 自主研發(fā) |
電極向距 | 48mm |
信號指示燈 | 3色帶警報 |
真空泵 | 90m3/h雙極油泵 |
系統(tǒng)電力&機械 | |
電源:AC380V,50/60Hz | 額定功率5000W |
系統(tǒng)重量(設(shè)備主機/真空泵) | <600Kg |
占地面積:設(shè)備主機 | 1805(W)×1988(D)×1842(H)mm |
射頻電源 | |
射頻電源頻率 | 13.56MHz |
射頻電源功率 | 1000W |
射頻電源匹配器 | 全自動匹配,優(yōu)良的空氣電容技術(shù) |
設(shè)備必備條件 | |
電源:AC380V,50/60Hz,三相五線 | 7.5KVA |
壓縮空氣要求 | 無水無油CDA 60~90psig |
抽風(fēng)系統(tǒng) | ≥2立方/分鐘,中央尾氣處理管道即可 |
系統(tǒng)環(huán)境溫度要求 | ≤30℃(室溫最佳) |
工藝氣體要求 | 15~20psig 99.996%或以上純度 |
■ 針對LED,IC封裝工序設(shè)計。
■ 配備自動上片,傳輸,清洗,收片等功能。
■ 高度自動化作業(yè),減少人員干預(yù),降低二次污染風(fēng)險。
■ 模塊化設(shè)計,組件更換靈活,切換產(chǎn)品快速。
■ 采用13.56MHZ電源,清洗時間短,無濺射,溫度低。
■ 運行過程實時監(jiān)控,動畫指示工作過程,一目了然。
■ 設(shè)備操作權(quán)限分級管理,便于管控。
■ 設(shè)備運行狀態(tài)可追索,生產(chǎn)過程可管控。
■ 故障報警可追索,有提示,快速排查故障部位,便于維護。
廣東金鉑利萊科技有限公司是一家以自動化設(shè)備為主導(dǎo)的,集研發(fā),生產(chǎn)制造于一體的高科技企業(yè)。
旗下還有深圳金鉑利萊科技有限公司,是一家專業(yè)從事等離子刻蝕、清潔系統(tǒng)的高科技企業(yè)。引用源自德國25年等離子系統(tǒng)研發(fā)技術(shù),為手機,電腦,線路板,LED,半導(dǎo)體,光電太陽能,汽車,醫(yī)療等高科技電子領(lǐng)域及大規(guī)模工業(yè)領(lǐng)域客戶提供等離子處理系統(tǒng)。
公司團隊核心成員均有和自動化設(shè)備及應(yīng)用相關(guān)的教育背景,部分曾服務(wù)于相關(guān)知名企業(yè),有著多年從事自動化設(shè)備研發(fā)及技術(shù)應(yīng)用的經(jīng)驗。
公司秉承“客戶至上,品質(zhì)第一,科技創(chuàng)新,合作共贏”的經(jīng)營理念,不斷推出高品質(zhì),高標(biāo)準(zhǔn),低成本的產(chǎn)品,為所有客戶提供實時的售前,售后及技術(shù)一體的專業(yè)服務(wù)。